質量流量控制器（MassFlowController縮寫為MFC）用于精確測量和控制氣體或液體的質量流量。**應用于真空鍍膜、光纖熔煉、微反應裝置、氣體混合系統、毛細管測量氣相色譜儀、光纖制造等設備。以及石化、冶金、制藥等行業。

質量流量控制器一般分為以下幾種：

1、容積式流量計——又稱定排量流量計。它利用機械測量元件將流體連續分成單個已知體積部分，并根據測量室中連續填充和排出流體體積部分的次數來測量流體體積流量。

2、浮子式流量計——又稱轉子流量計，是一種變截面流量計。在一個自下而上膨脹的立式錐管中，圓形截面浮子的重力由液體所承受的力所決定，使浮子在錐管內可以自由升降。

3、差壓流量計——是根據安裝在管道中的流量檢測裝置產生的差壓、已知的流體狀況以及檢測室和管道的大小來計算流量的儀表。

4、渦街流量計——將非流線型渦流發生器置于流體中，流體在發生器兩側交替分離，釋放出兩組規則交錯的渦流。

5.渦輪流量計-是速度流量計的主要類型。它采用多葉片轉子（渦輪）感應流體的平均流速，從而推導出流量計的流量或總量。

6、超聲波流量計——通過檢測流體流動對超聲波束（或超聲波脈沖）的影響來測量流量的儀表。

7、電磁流量計——電磁流量計是根據法拉第電磁感應定律制成的測量導電液體的儀表。電磁流量計具有一系列優良的特性，可以解決其他流量計不易應用的問題，如臟流量和腐蝕性流量的測量。

8.熱式流量計——熱式流量計傳感器包含兩個傳感元件，一個流量傳感器和一個溫度傳感器。它們會自動補償和校正氣體溫度變化。儀表的電加熱部分將轉速傳感器加熱到高于工況溫度的一定值，使轉速傳感器與測量工況溫度的傳感器之間形成恒定的溫差。當溫差保持恒定時，電加熱所消耗的能量，也可以說是散熱值，與流過的氣體質量流量成正比。適用于單一氣體和固定比例的多種組分。氣體測量。

9、科里奧利流量計——其原理是利用流體在振動管中流動時產生的科里奧利力直接或間接測量該力，從而得到流體質量流量。